P5000(AMAT)対応 個別交換型VME-FAN UNIT

I/E Fanpack [001-0035-001]

無工具で個別に内部FANを交換することができます。これにより、装置の停止時間、部品費（通常はAssy購入）を大幅に抑えることができます。

VME内部温度表示＆ファン個別に動作確認LEDを備えており、故障の際には一目で判断でき、過温度によるトラブル防止とVME等の電子部品の延命に効果が期待できます。

消費電力も従来の約1/3程度に抑えており、電力削減策にも貢献できます。

FAN着脱方法

VME温度、FAN動作LED点灯

P5000(AMAT)対応 TCコネクタ部WINDOW KIT

DLH-Chamber TC Amp WindowKIT [002-0010-001]

サセプタTCコネクタ接触不良におけるOverTempError防止対策KITです。

取付時に窓から確認でき、接続ミスを防ぐことと、動作によって外れることを防ぐ目的で設計してあります。

これの導入で、100%Errorの発生を防いだ実績があります。(SA-Chamber対応品も有り）

KIT各パーツ

P5000(AMAT) Top Cover ステー

Top cover stay KIT [003-0010-001]

P5000装置の天板に使用しているダンパーに代わる、ロック式のステーです。

既存ダンパーでは内部Gas抜けによる機能劣化がある一方で、ロック機構を備えたステーを用いることで、より安全に適した環境を提供します。また、ステーの許容荷重もダンパーのそれよりも優れています。

取付穴も純正対応しているため、無加工で取付可能にしています。

AMAT0対応 H/E循環系保温 KIT

/E insulatorKIT [200-0014-001]

AMAT0 H/Eにおいて、冷却水循環部に保温材を取り付けることで、装置の電力消費量を抑えることができます。（ヒーターONを削減させる）
環境にもよりますが、国内工場で電力量58%削減の実績があります。

各部位に合わせて加工済みなので、取付はマジックテープで留めるだけで簡単に着脱可能です。

ホース部保温材

フィルター部保温材

DIタンク部保温材

ヒーター部保温材

E5500(AMAT)対応 ずれ防止ロボットブレード

AntiSlideBlade [500-0030-002]

ウェハー搬送用ロボットブレードの材質をセラミック化しました。これによって、金属で発生していた垂れ等は無くなりました。

弊社はさらに、ブレード上でウェハーがずれる現象も改善すべく、 半導体で実績のあるエラストマーを使い、滑り止めを埋め込んで有ります。

エラストマーは消耗時には交換可能なようにしてあり、独特の形状で、取付しやすく外しやすい構造になっております。

エラストマー部拡大図（約0.3mmウェハーが浮く設計）

APT4800(Canon) 補償導線

APTヒーター補償導線 [800-0010-001]

APT-4800装置のヒーター用補償導線です。

高耐屈曲のものを使用、断線によるトラブル発生の抑制に貢献します。

※屈曲性:36000回　ビニール電線試験方法[JIS C 3005]

また、-20℃～90℃の範囲にて使用可能であり、純正品の導線よりも安価に提供できます。

E5500(AMAT) アームヒンジ

E5500　アームヒンジ

メーカー純正品と比べ、同等な外観に製作可能であり、納期は約1カ月と縮められています。

また、表面仕上げには電解研磨仕上げを用いています。

イオン注入装置(Varian) ベアリング（内径側延長タイプ）

イオン注入装置　ベアリング

イオン注入装置エンドステーションモジュール部、Assy,hook,retainingのパーツに使用されているベアリング(グリースフリー)です。

対象装置はextrion220、e220hp、E500hp、EHP500になります。

価格、納期については別途お問合わせ下さい。

ベアリング

Assy,hook,retaining

AMAT対応 スロットルバルブパーツ

AMAT装置　スロットルバルブパーツ

AMAT装置汎用スロットルバルブパーツです。純正品よりも低価格、短納期にて提供可能です。

ボディパーツに関してはその他種類にも対応可能ですので御気軽にご相談ください。

スロットルバルブカバー部

スロットルバルブボディ

スロットルバルブ全体

イオン注入装置(Varian) ROPLATケーブル

イオン注入装置　ROPLATケーブル

対象装置はE500hp,EHP500です。配線にはアウトガスの発生しないテフロン被覆の物を使用し、エポキシ樹脂にて封止をしています。

Heリークテスト(1.0×10-8Atm・cc/sec 以下)、絶縁試験(300V DC印加時 500MΩ/0.01sec以上)実施。

また、配線保護のゴム摩耗対策として、ゴムの材質をブチルゴムからフッ素ゴムに変更しています。

純正品よりもローコストで御提供が可能であり、国内工場にて使用実績もあります。

ROPLATケーブル

APT4800(Canon) ウェハーガイド

APT WaferGuide [800-0030-011]

純正品のガイドと比べて、焼結仕上げを施すことにより、生成物が付きにくく、コスト面でも安価にて製作しました。
材質：石英

ガイドフロントビュー

ガイドトップビュー

ガイドバードビュー

APT4800(Canon) サセプター着脱ツール ホルダー改造

APT Susc jigu holder KIT [800-0030-001]

APT-4800装置のサセプターを着脱する器具のサセプターホルダーに対して、ホルダーの構造を変更し、セラミック部の損壊の低減を含め、部品自体のコストを抑制しました。
材質：石英

脱ツールフロントホルダー1

着脱ツールフロントホルダー2

着脱ツールリアホルダー

CE5200(AMAT)スリットエアシリンダーリビルド

SlitValve Rebuild

通常、O/Hではベローズは新品に交換しますが、シリンダは内部の消耗品を交換するにとどめるケースが多いです。

リビルドでは、エアシリンダごと交換するため、機能部品はすべて新品になり、Assyとしても新品同様に生まれ変わります。

シリンダのO/Hも限界があります。新品を購入するのであれば、ぜひリビルドをお試しください。